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產(chǎn)品簡介
PRODUCT INTRODUCTION
全自動晶圓導片+激光刻印機
YLM系列是針對4至12 inch wafer的全自動激光laser 設備.支持wafer ID刻印， Die 標定點刻印和wafer身份識別自動貼標的功能集成。 可依據(jù)客戶需求選擇從Jar box ,foup,fosb,或者wafer cassette自動上下料。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點：
1.Barcode 掃描調(diào)程
2.蛋糕盒上料，Open cassette&FOUP 出料。支持料盒 mapping
3.Wafer ID讀取比對
4.CCD Notch定位
5.工控機+Windows系統(tǒng)
6.SECS/GEM
7.Wafer Map自動調(diào)取比對
8.wafer ID，識別標識，NG die刻印
9.THG laser 無熱應力損傷,高發(fā)色刻印
10.高精度，高效率
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